經過熱力焚燒或許催化焚燒法處理有機廢氣，其凈化率是比較高的，可是其出資運營本錢極高。因廢氣排放的點多且渙散，很難完成集中搜集。焚燒裝置需要多套且需要很大的占地面積。熱力焚燒比較適合24小時接二連三運轉且濃度較高而安穩的廢氣工況，不適合間斷性的出產產線工況。催化焚燒的出資和運營費用相對熱力焚燒較低，但凈化功率也相對較低一些；但貴金屬催化劑容易因為廢氣中的雜質（如硫化物）等形成中毒失效，而替換催化劑的費用很高；同時對廢氣進氣條件的控制十分嚴厲，否則會形成催化焚燒室堵塞而引起安全事故。
UV光解法
UV光解凈化法使用高能UV紫外線光束分解空氣中的氧分子發生游離氧（即活性氧），因游離氧所攜帶正負電子不平衡所以需與氧分子結合，從而發生臭氧，臭氧具有很強的氧化性，經過臭氧對有機廢氣、惡臭氣體進行協同光解氧化作用，使有機廢氣、惡臭氣體物質降解轉化成低分子化合物、CO2和H2O。
UV光解法具有高效處理功率，可達到95%以上；適應性強，可適應中低濃度，大氣量，不同有機廢氣以及惡臭氣體物質的凈化處理；產品功能安穩，運轉安穩牢靠，每天可24小時接連工作；運轉本錢低本，設備耗能低，無需專人管理與保護，只需作定時檢查。UV光解法因選用光解原理，模塊采取隔爆處理，消除了安全隱患，防火、防爆、防腐蝕功能高，設備功能安全安穩，特別適用于采油(氣)田、石油化工、制藥等防爆要求高的職業。
